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激光干涉儀測量五軸數控機床的傾斜誤差 [復制鏈接]

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銀光圖片
激光干涉儀以光波為載體,其光**長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端**領域應用廣泛。

  [b]SJ6000激光干涉儀[/b]集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
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  激光干涉儀最主要的應用之一就是機床精度檢測,今天小編就給大家介紹一下如何用SJ6000激光干涉儀測量五軸機床的平移軸角度誤差。

平移軸角度誤差

  五軸機床每根平移軸有三個角度誤差,一個滾動誤差和兩個傾斜誤差。對于滾動誤差,激光干涉儀無法測得,需要用其他設備實現,而傾斜誤差,均可以激光干涉儀獲得。角度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足±10°范圍內的角度測量。

  角度反射鏡與待測的運動軸相連,角度干涉鏡是靜止安裝。激光頭射出一束光至角度干涉鏡,其內部的分光鏡將光束分成兩部分,一部分直接通過干涉鏡,并從角度反射鏡的某一半反射回激光頭(參考光束 A1)。另一條光束則通過角度干涉鏡的角度分光鏡,傳到角度反射鏡的另一半,角度反射鏡使光束通過干涉鏡返回到激光頭(測量光束 A2)。當傾斜誤差發生時,角度反射鏡會有俯仰等運動,即角度反射鏡會相對于固定的角度干涉鏡發生小角度的旋轉。這會導致兩條光束的光程不一致,其差值即可獲取角度誤差的大小。
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▲ 角度測量的光路原理構建圖

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▲ 運動軸的俯仰角度測量示意圖

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▲ 運動軸的偏擺角度測量示意圖[/align]
最后編輯szzhongtu5 最后編輯于 2019-10-21 15:41:43
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